氬氣回收系統(tǒng)是應(yīng)用于單晶硅爐、氣氛爐、3D打印等的一種回收裝置。該裝置是把經(jīng)過爐體的被污染氬氣通過氣罐緩沖、低壓螺桿機(jī)壓縮、低壓儲(chǔ)存、過濾、除水、除油,然后進(jìn)入純化器提純至99.999%,最終通過增壓機(jī)增壓至一定壓力的回收系統(tǒng),依次循環(huán)。
特點(diǎn):采用全自動(dòng)PLC控制、所有管道采用不銹鋼、純化器提純效率高、回收率高、壓縮單元穩(wěn)定輸出、操作方便、性能可靠、維修成本低,有效的降低風(fēng)險(xiǎn)、提供使用的工作效率。